๋๊ตญ์์
๋๊ตญ๋ ๊นํ์ ์ฐ๊ตฌํ, ๊ณ (้ซ)์ ์ ์จ ์ ์ฐ ๊ด๋ฐ์์ฑ ๊ณ ๋ถ์ ์ ์ ์ฒด ๊ฐ๋ฐ
UV ๊ดํจํฐ๋ ๋ฐ ์ฆ์ฐฉ ๊ฐ๋ฅ ๊ณ ๋ถ์ ์ ์ ์ฒด ๊ฐ๋ฐ...
์ฌ๋ฃ ๋ถ์ผ ์ต๊ณ ์์ค ํ์ ์ง ใAdvanced Functional Materialsใ ๊ฒ์ฌ
๋๊ตญ๋ถฤว๊๊ต ๊ณต๊ณผ๋ถฤว๊ ์๋์ง์ ์์ฌ๊ณตํ๊ณผ ๊นํ์ ๊ต์ ์ฐ๊ตฌํ์ ์ถฉ๋จ๋ถฤว๊๊ต ์ด๊ฒฝ์ง, ๊นํ์ ๊ต์ ์ฐ๊ตฌํ๊ณผ์ ๊ณต๋ ์ฐ๊ตฌ๋ฅผ ํตํด, CVD ๊ณต์ ์ ํตํ ๊ด๋ฐ์์ฑ ๊ณ ๋ถ์ ๋ฐ๋ง ๋ฐ ์ฐํ๋ฌผ ๋ฐ๋์ฒด์ ๊ฒฐํฉํ ์ ์ฐ ๋ฐ๋ง ํธ๋์ง์คํฐ๋ฅผ ์ ๋ณด์๋ค.
๊ธฐ์กด ๋ฐ๋ง ํธ๋์ง์คํฐ๋ ๊นจ์ง๊ธฐ ์ฌ์ฐ๋ฉฐ ๊ณต์ ์จ๋๊ฐ ๋์ ์ฐํ๋ฌผ ์ ์ ์ฒด ๋ฌผ์ง์ ํ์ฉํ๋ ๊ฒฝ์ฐ๊ฐ ๋ง์ ์ ์ฐ ์ ์๊ธฐ๊ธฐ ๋ถ์ผ์๋ ์ ํฉํ์ง ์์๋ค. ์ด๋ฅผ ํด๊ฒฐํ๊ธฐ ์ํด ์ฐ๊ตฌํ์ Parylene-OH๋ผ๋ ์๋ก์ด ๊ณ ๋ถ์๋ฅผ ๋์ ํ๋ค. ์ด ๊ณ ๋ถ์๋ ์ ์ ์์๊ฐ ์ต๋ 7.53์ ๋ฌํ๋ฉฐ, ์ ์ฐ์ฑ์ด ๋ฐ์ด๋จ๊ณผ ๋์์ ์ง๊ณต ๊ณต์ ์ ํตํด ์ฆ์ฐฉ ๊ฐ๋ฅํ๋ค๋ ํน์ง์ด ์๋ค. ๋ํ, ๊ธฐ์กด ์ฉ์ก ๊ณต์ ์ ์ฃผ์ ๋ฌธ์ ์ ์ธ ํํ๊ณผ ๊ธฐํฌ ๋ฌธ์ ๋ฅผ ๊ทน๋ณตํ์ฌ ๋์ฑ ์์ ์ ์ธ ์์ ์ฑ๋ฅ์ ๋ณด์ฆํ๋ค.
ํนํ, ์ด ์ ์ ์ฒด ๋ฌผ์ง์ ํฌํ ํจํฐ๋์ ๊ฐ๋ฅํ๊ฒ ํด์ค ๋น์ฉ์ด ๋ง์ด ๋ค๊ณ ๋ณต์กํ ํฌํ ๋ฆฌ์๊ทธ๋ํผ ๊ณต์ ์ ๋์ ํ ์ ์๋ค. ์ฐ๊ตฌํ์ ์ด๋ฒ์ ๊ฐ๋ฐํ ์ ์ ์ฒด์ธต์ ํ์ฉํด ์ ์ฐํ ๋ฐ๋ง ํธ๋์ง์คํฐ ์์์ CMOS ์ธ๋ฒํฐ๋ฅผ ์ฑ๊ณต์ ์ผ๋ก ์ ์ํ๋ฉฐ ์ด ๊ธฐ์ ์ ์ค์ฉ์ฑ์ ์ ์ฆํ๋ค. ๋ํ, ์จ์ด๋ฌ๋ธ ๋ฐ ํด๋๋ธ ๋์คํ๋ ์ด, ์ํํธ ๋ก๋ด ๋ฑ ๋ค์ํ ๋ถ์ผ์์ ‘์ ์ฐํ ๊ณ ์ฑ๋ฅ ์ ์ ์์’์ ํ์ฉ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ ๋ณด์ฌ์คฌ๋ค.
๊นํ์ ๊ต์๋ “๊ธฐ์กด ๋ฌด๊ธฐ๋ฌผ ์ ์ ์ฒด๋ ์ฐ์ํ ํน์ฑ์๋ ๋ถ๊ตฌํ๊ณ ๋์ ๊ณต์ ์จ๋๋ก ์ธํ ๊ธฐํ์ ์ ์ฝ๊ณผ ๋ถ์์ง๊ธฐ ์ฌ์ด ํน์ฑ์ผ๋ก ์ฐจ์ธ๋ ์ ์ฐ ์์์ ์ ์ฉํ๊ธฐ ํ๋ค์๋ค”๋ผ๋ฉฐ “๊ฐ๋ณ๊ณ ๋ด๊ตฌ์ฑ์ด ๋ฐ์ด๋ ์ ์ฐ ์ ์ ๊ธฐ๊ธฐ์ ๋ํ ์์๊ฐ ์ฆ๊ฐํ๋ ๊ฐ์ด๋ฐ, ์ด๋ฒ ์ฐ๊ตฌ ์ฑ๊ณผ๋ ์ฆ์ฐฉ ๊ณต์ ๊ธฐ๋ฐ ๊ณ ๋ถ์ ์ ์ ์ฒด๊ฐ ์ฐจ์ธ๋ ์์ ๊ธฐ์ ์ ํต์ฌ ์์๋ก ์๋ฆฌ๋งค๊นํ๋ ๊ณ๊ธฐ๊ฐ ๋ ๊ฒ”์ด๋ผ๊ณ ๊ธฐ๋๊ฐ์ ์ ํ๋ค.
ํํธ, ํด๋น ์ฐ๊ตฌ๋ ํ๊ตญ์ฐ๊ตฌ์ฌ๋จ, ๊ณผํ๊ธฐ์ ์ผ์๋ฆฌ์งํฅ์๊ณผ ๋๊ตญ๋ถฤว๊๊ต์ ์ง์์ผ๋ก ์ํ๋์ผ๋ฉฐ, <Intrinsically Photopatternable High-k Polymer Dielectric for Flexible Electronics>๋ผ๋ ์ ๋ชฉ์ผ๋ก ์ฌ๋ฃ ๋ถ์ผ ๊ตญ์ ํ์ ์ง ใAdvanced Functional Materials (IF : 18.5)ใ Back cover๋ก ์ ์ ๋ผ 24๋ 4์ ์จ๋ผ์ธ ๊ฒ์ฌ ๋ฐ 11์ 13์ผ ์คํ๋ผ์ธ ๊ฒ์ฌ๋์๋ค.
[๊ด๋ จ๊ธฐ์ฌ ๋ณด๊ธฐ] ๊ธฐ์ฌ ์ ๋ชฉ