๋๊ตญ์์
๊น์ฑ์ค ์ฐ๊ตฌํ, InGaZnO ์ฑ๋ ๊ธฐ๋ฐ ๊ฐ์ ์ ์ฒด ํธ๋์ง์คํฐ ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ ๊ฐ๋ฐ
์ ๊ธฐ์ ๋ฐ ๊ดํ์ ํน์ฑ์ผ๋ก ์์ ํ ํ๋์จ์ด ๊ธฐ๋ฐ ์ฐจ์ธ๋ ์ปดํจํ
๊ตฌํ
์ฌ๋ฃ ๋ถ์ผ ์ต์์ ๊ตญ์ ํ์ ์ง ‘Advanced Functional Materials’ ์จ๋ผ์ธ ๊ฒ์ฌ
โ ๋๊ตญ๋ถฤว๊๊ต ์ ์์ ๊ธฐ๊ณตํ๊ณผ ๊น๋ํ ์์ฌ (์ 1์ ์), ๊น์ฑ์ค ๊ต์ (๊ต์ ์ ์)๋ก ๊ตฌ์ฑ๋ ์ฐ๊ตฌํ์ด ๊ฐ์ ์ ์ฑ HfZrOx(ํํ๋-์ง๋ฅด์ฝ๋ ์ฐํ๋ฌผ) ๋ฐ๋ง๊ณผ InGaZnO(์ธ๋-๊ฐ๋ฅจ-์์ฐ ์ฐํ๋ฌผ) ์ฑ๋ ๊ธฐ๋ฐ์ ์ฐจ์ธ๋ ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ ์์๋ฅผ ๊ฐ๋ฐํ๋ค๊ณ ๋ฐํํ๋ค.
โ ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์ ์ ์ํ HfZrOx๋ ALD(์์์ธต ์ฆ์ฐฉ) ๊ธฐ์ ์ ํตํด ์ ํํ๊ฒ ๋๊ป๋ฅผ ์กฐ์ ํ๊ณ ๋ํ ๋๋๋ฅผ ์ต์ ํํ์ผ๋ฉฐ, ๋๊ตญ๋ถฤว๊๊ต MINT ๊ณต์ ์ค์ ์คํผํฐ ์ฅ๋น๋ฅผ ํ์ฉํด InGaZnO ์ฑ๋ ๋ฐ๋ง์ ๊ฐ๋ฐํ๋ค. ์ด ๊ฐ์ ์ ์ฒด ํธ๋์ง์คํฐ ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ๋ HfZrOx์ ๋ถ๊ทน์ ์ํ ๋นํ๋ฐ์ฑ ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ ํน์ฑ๊ณผ InGaZnO ์ฑ๋์ ๊ดํ ๋ฐ์์ ์ํ ํ๋ฐ์ฑ ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ ํน์ฑ์ ๋์์ ๊ฐ์ถ๋ฉด์ ๋จ์ผ ์์์ ๋ค๊ธฐ๋ฅ์ฑ์ ์ ์ฆํ๋ค.
โ ์ด๋ฒ ์ฐ๊ตฌ๋ ์ฐจ์ธ๋ ๋ฌผ์ง์ ํ์ฉํด ‘์ธ๊ฐํ๋ ์๊ทน์ ์ข ๋ฅ์ ๋ฐ๋ผ ๋ฌ๋ผ์ง๋ ์ฅ๊ธฐ ๋ฐ ๋จ๊ธฐ ๊ธฐ์ต ํน์ฑ’๊ณผ ์ธ๊ณต ์๋ ์ค, ์ธ๊ณต ์ ๊ฒฝ๋ง๊น์ง ์ฑ๊ณต์ ์ผ๋ก ๊ตฌํํ๊ณ ์ฐจ์ธ๋ ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ ํ๋์จ์ด ์ง๋ฅํ ์์คํ ์์์ ์ ์ฌ๋ ฅ์ ๋ณด์ฌ์คฌ๋ค.
โ ๊น์ฑ์ค ๊ต์๋ “์ 1์ ์ ํ์์ด ์ง์ ์์ธ๋ถฤว๊๊ต ๋ฐ๋์ฒด๊ณต๋์ฐ๊ตฌ์์ ๋๊ตญ๋ถฤว๊๊ต MINT ์ฒญ์ ์ค ์ฅ๋น๋ฅผ ํ์ฉํ์ฌ ๊ฐ์ ์ ์ฒด ํธ๋์ง์คํฐ ์์ ๊ฐ๋ฐ์ ์ฑ๊ณตํ๋ค”๋ผ๋ฉฐ, “๋ง์ ์ฅ์ ์ ๊ฐ์ถฐ ํ์ฌ ์์ฉํ๋ ๋ธ๋ํ๋์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ ์ฑ๋์ ๋์ฒดํ ์ ์๋ ์์”๋ผ๊ณ ์ ํ๋ค. ์ด์ด, “์ ์ ๋ ฅ ๋์ ๋ฐ ๋์ ์ด๋ฏธ์ง ์ธ์๋ฅ ์ ๊ธฐ๋ฐ์ผ๋ก Reservoir Computing(์ถ์ ์ปดํจํ ) ๋ฑ ๊ณ ์ฑ๋ฅ AI ์ปดํจํ ์ ์ธ๊ณต์ง๋ฅ ๋ฐ๋์ฒด์์ ์ค์ํ ์ญํ ์ ํ ์ ์์ ๊ฒ”์ด๋ผ๊ณ ๊ธฐ๋๊ฐ์ ๋ํ๋๋ค.
โ Reservoir Computing(์ถ์ ์ปดํจํ ) ์์คํ ์ ์ธ๊ณต ์ ๊ฒฝ๋ง์ ์ญํ ๋ง ํ๋ ๊ธฐ์กด ์ธ๊ณต ์๋ ์ค ๋ด๋ก๋ชจํฝ ์์คํ ๋๋น ๋์ ์ธ๊ณต์ง๋ฅ ์ฑ๋ฅ์ ์ ์งํ๋ฉด์ ํ์ต ๋น์ฉ์ ์ค์ผ ์ ์๋ค. ์ด๋ฒ ๋ ผ๋ฌธ์์ ๊ตฌํํ FeTFT๋ ํ ์์์์ RC์ reservoir(์ ์ฅ์) ์ธต๊ณผ read-out(ํ์ต๊ณผ ์ถ๋ก ์ญํ ) ์ธต์ ๋ชจ๋ ํ๋์จ์ด๋ก ์ปค๋ฒํ ์ ์๋ค๋ ์ฅ์ ์ด ์๋ค.
โ ํด๋น ์ฐ๊ตฌ ๊ฒฐ๊ณผ๋ <Cost-Effective and Fully Hardware-Oriented Reservoir Computing Based on IGZO/HZO Ferroelectric Thin-Film Transistor with Electrically and Optically Distinguishable States>๋ผ๋ ์ ๋ชฉ์ผ๋ก ์ฌ๋ฃ ๋ถ์ผ ์ต์์ ์ ๋ช ๊ตญ์ ํ์ ์ง ใAdvanced Functional Materials (IF=18.5)ใ์ 24๋ 9์ ์จ๋ผ์ธ ๊ฒ์ฌ๋๋ค.
โ ์ด๋ฒ ์ฐ๊ตฌ๋ ํ๊ตญ์ฐ๊ตฌ์ฌ๋จ์ ์ค๊ฒฌ์ฐ๊ตฌ ์ฌ์ ์ธ "์ถ์ ์ปดํจํ ๊ตฌํ์ ์ํ ๋ฆฌํ ์ ์กฐ์ ๊ฐ๋ฅํ ํํ๋ ๊ธฐ๋ฐ ๊ฐ์ ์ ์ฒด ์์ ๊ธฐ์ ๋ฐ ์์ง์ ์ธต ์ง์ ๊ณต์ ๊ฐ๋ฐ"๊ณผ ๊ธ๋ก๋ฒ ๊ธฐ์ด์ฐ๊ตฌ์ค ์ฌ์ ์ธ "๋ด๋ก๋ชจํฝ ๊ธฐ์ ๊ธฐ๋ฐ ๋ชจ๋น๋ฆฌํฐ ๋ฐฐํฐ๋ฆฌ PHM ๊ธ๋ก๋ฒ ๊ธฐ์ด์ฐ๊ตฌ์ค"์ ์ง์์ ๋ฐ์ ์ํ๋๋ค.
[๊ด๋ จ๊ธฐ์ฌ ๋ณด๊ธฐ] ๋๊ตญ๋ ๊น์ฑ์ค ์ฐ๊ตฌํ, InGaZnO ์ฑ๋ ๊ธฐ๋ฐ ๊ฐ์ ์ ์ฒด ํธ๋์ง์คํฐ ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ ๊ฐ๋ฐ